緊湊、高性能的電磁驅(qū)動激光掃描MEMS鏡
這是一種電磁驅(qū)動的鏡面，采用了我們專有的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)。通過在鏡子下方放置磁鐵，使其緊湊。當(dāng)電流通過鏡子周圍的線圈，在磁場中通過時，根據(jù)弗萊明定律產(chǎn)生洛倫茲力以驅(qū)動鏡面。我們的MEMS鏡面功耗低，光學(xué)延伸角寬，鏡面反射率高。
■特點(diǎn)
?低電流作
?小尺寸
?寬光學(xué)跑角
| 類型 | 一軸線性掃描 |
|---|---|
| 作模式 | 線性模式 |
| 鏡面尺寸 | φ2.6毫米 |
| 鏡像材料 | 鋁合金 |
| 光學(xué)跑出角 | ±15° |
| 驅(qū)動頻率（*） | 100赫茲 |
日本直供濱松光子MEMS鏡像S12237-03P
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